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Description et performances d'un implanteur d'ions

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http://hal.in2p3.fr/in2p3-00003851
Contributor : Jocelyne Lorgeril <>
Submitted on : Friday, January 14, 2000 - 10:04:09 AM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 4:06:33 PM

Identifiers

  • HAL Id : in2p3-00003851, version 1

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Citation

J. Chaumont, M. Baran-Marszac, J. Camplan, R. Meunier, J.L. Sarrouy. Description et performances d'un implanteur d'ions. Le Vide, Société française du vide, 1971, 152, pp.105. ⟨in2p3-00003851⟩

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