Recoil implantation of antimony into silicon - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Nuclear Instruments and Methods Année : 1981

Recoil implantation of antimony into silicon

A. Grob
  • Fonction : Auteur
N. Mesli
  • Fonction : Auteur
D. Salles
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00006698 , version 1 (23-10-2000)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00006698 , version 1

Citer

A. Grob, J.J. Grob, N. Mesli, D. Salles, P. Siffert. Recoil implantation of antimony into silicon. International Conference on Ion Beam Modification of Materials 2, Jul 1980, Albany, United States. pp.85-92. ⟨in2p3-00006698⟩
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