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Caracterisation de couches minces pulverisees de nitrure par les methodes d'analyses nucleaires

Document type :
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http://hal.in2p3.fr/in2p3-00008269
Contributor : Sylvie Flores Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, February 7, 2001 - 4:55:21 PM
Last modification on : Friday, September 10, 2021 - 1:50:04 PM

Identifiers

  • HAL Id : in2p3-00008269, version 1

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Citation

J. Tardy, A. Cachard, J.-P. Thomas, J. Engerran. Caracterisation de couches minces pulverisees de nitrure par les methodes d'analyses nucleaires. Le Vide, Société française du vide, 1974, 173, pp.359. ⟨in2p3-00008269⟩

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