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Influence des reactions de depot sur la repartition et la stabilite de l'hydrogene incorpore dans des films Si(a) prepares par pulverisation reactive et caracterise par microanalyse nucleaire

Document type :
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http://hal.in2p3.fr/in2p3-00008274
Contributor : Sylvie Flores <>
Submitted on : Wednesday, February 7, 2001 - 5:16:59 PM
Last modification on : Thursday, July 2, 2020 - 8:56:07 AM

Identifiers

  • HAL Id : in2p3-00008274, version 1

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Citation

M. Fallavier, L. Jeannerot, J.-M. Mackowski, C. Pijolat, J.-P. Thomas. Influence des reactions de depot sur la repartition et la stabilite de l'hydrogene incorpore dans des films Si(a) prepares par pulverisation reactive et caracterise par microanalyse nucleaire. Le Vide les Couches Minces, Société française du vide, 1978, 196, pp.155. ⟨in2p3-00008274⟩

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