Study by gamma-ray spectroscopy of the optimal conditions to produce thin films of TiO$_2$ by refractive cathode sputtering

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Nouvelle Revue d'Optique Appliquée, 1971, 2, pp.63-37


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Contributeur : Yvette Heyd <>
Soumis le : mardi 16 janvier 2001 - 13:08:40
Dernière modification le : mardi 16 janvier 2001 - 13:08:40

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B. Laville-Saint-Martin, J.C. Sens. Study by gamma-ray spectroscopy of the optimal conditions to produce thin films of TiO$_2$ by refractive cathode sputtering. Nouvelle Revue d'Optique Appliquée, 1971, 2, pp.63-37. <in2p3-00018735>

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