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Conference papers

Étude d'un plasma micro-onde d'hydrogène en configuration matricielle pour application potentielle au dépôt de diamant sur grande surface

M. Rayar 1 H. Le Quoc 1 A. Lacoste 1 J. Pelletier 1 A. Bès 1
1 LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
http://hal.in2p3.fr/in2p3-00395117
Contributor : Emmanuelle Vernay <>
Submitted on : Monday, June 15, 2009 - 8:49:27 AM
Last modification on : Monday, July 20, 2020 - 9:18:27 AM

Identifiers

  • HAL Id : in2p3-00395117, version 1

Collections

IN2P3 | CNRS | UGA | LPSC | LPSC-PLASMAS | GEPI

Citation

M. Rayar, H. Le Quoc, A. Lacoste, J. Pelletier, A. Bès. Étude d'un plasma micro-onde d'hydrogène en configuration matricielle pour application potentielle au dépôt de diamant sur grande surface. Cinétique des Plasmas, Recherche et Applications, 3ème édition (CiPRA3), Apr 2008, Le Havre, France. ⟨in2p3-00395117⟩

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