X-ray Scattering Study of Nanodot Pattern Formation on Semiconductor Surfaces by Low Energy Ion Beam Sputtering

O. Plantevin 1 R. Gago L. Vázquez A. Biermanns
1 CSNSM PS2
CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse, CSNSM - Centre de Sciences Nucléaires et de Sciences de la Matière
Type de document :
Communication dans un congrès
Indo-French conference on Nano-Structuring by Ion Beams, 2009, Bhubaneswar, India. Nova Science Publishers Inc., pp.129-138, 2011


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Contributeur : Christine Hadrossek <>
Soumis le : lundi 4 juin 2012 - 11:45:57
Dernière modification le : lundi 13 octobre 2014 - 15:43:25

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  • HAL Id : in2p3-00703736, version 1

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O. Plantevin, R. Gago, L. Vázquez, A. Biermanns. X-ray Scattering Study of Nanodot Pattern Formation on Semiconductor Surfaces by Low Energy Ion Beam Sputtering. Indo-French conference on Nano-Structuring by Ion Beams, 2009, Bhubaneswar, India. Nova Science Publishers Inc., pp.129-138, 2011. <in2p3-00703736>

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