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Conference papers

Applications de l'implantation ionique par immersion plasma (PBII) et des traitements duplex PBII-dépôt PACVD ou PAPVD

Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas

http://hal.in2p3.fr/in2p3-01016926
Contributor : Emmanuelle Vernay <>
Submitted on : Tuesday, July 1, 2014 - 2:37:16 PM
Last modification on : Thursday, November 19, 2020 - 12:58:40 PM

Identifiers

  • HAL Id : in2p3-01016926, version 1

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Citation

A. Lacoste. Applications de l'implantation ionique par immersion plasma (PBII) et des traitements duplex PBII-dépôt PACVD ou PAPVD. Intersurfaces, Nov 2012, Saint Etienne, France. ⟨in2p3-01016926⟩

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