Modelling and characterisation of elementary microwave plasma sources at medium pressure (1 to 50 Torr) for high rate deposition

A. Martin Ortega 1 A. Bes 1 S. Bechu 1 A. Lacoste 1
1 LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie
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International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. 〈http://kpfu.ru/eng/icpltp2017〉
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Contributeur : Emmanuelle Vernay <>
Soumis le : lundi 19 juin 2017 - 13:02:06
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A. Martin Ortega, A. Bes, S. Bechu, A. Lacoste. Modelling and characterisation of elementary microwave plasma sources at medium pressure (1 to 50 Torr) for high rate deposition. International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. 〈http://kpfu.ru/eng/icpltp2017〉. 〈in2p3-01541647〉

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