Modelling and characterisation of elementary microwave plasma sources at medium pressure (1 to 50 Torr) for high rate deposition

A. Martin Ortega 1 A. Bes 1 S. Bechu 1 A. Lacoste 1
1 LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie
Type de document :
Poster
International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. 〈http://kpfu.ru/eng/icpltp2017〉
Liste complète des métadonnées
http://hal.in2p3.fr/in2p3-01541647
Contributeur : Emmanuelle Vernay <>
Soumis le : lundi 19 juin 2017 - 13:02:06
Dernière modification le : mardi 22 mai 2018 - 21:48:11

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-01541647, version 1

Collections

IN2P3 | LPSC-PLASMAS | LPSC | UGA

Citation

A. Martin Ortega, A. Bes, S. Bechu, A. Lacoste. Modelling and characterisation of elementary microwave plasma sources at medium pressure (1 to 50 Torr) for high rate deposition. International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. 〈http://kpfu.ru/eng/icpltp2017〉. 〈in2p3-01541647〉

Exporter

BibTeX TEI DC DCterms EndNote

Partager

Métriques

Consultations de la notice

96

Contact

support.ccsd.cnrs.fr
hal.support@ccsd.cnrs.fr
Logo CCSD