Elementary microwave plasma sources with extended operating parameters (from low to high- pressures) for large area deposition

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Communication dans un congrès
International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. 〈http://kpfu.ru/eng/icpltp2017〉
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Contributeur : Emmanuelle Vernay <>
Soumis le : lundi 19 juin 2017 - 13:06:33
Dernière modification le : mardi 22 mai 2018 - 21:48:11

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  • HAL Id : in2p3-01541651, version 1

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A. Lacoste, P. Baele, A. Martin Ortega, A. Bes, S. Béchu. Elementary microwave plasma sources with extended operating parameters (from low to high- pressures) for large area deposition. International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. 〈http://kpfu.ru/eng/icpltp2017〉. 〈in2p3-01541651〉

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