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European Workshop on Refractory Metals and Silicides, Sint Michielsgestel : Netherlands
Thermal stability of W on RTCVD Si$_{1-x}$Ge$_x$ films
V. Aubry, F. Meyer, R. Laval, C. Clerc1, P. Warren, D. Dutartre
(1993)
1 :  CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse