HAL : in2p3-00000853, version 1

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European Workshop on Refractory Metals and Silicides, Sint Michielsgestel : Netherlands

Thermal stability of W on RTCVD Si$_{1-x}$Ge$_x$ films

V. Aubry, F. Meyer, R. Laval, C. Clerc1, P. Warren, D. Dutartre

(1993)

1 :	CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse

in2p3-00000853, version 1

http://hal.in2p3.fr/in2p3-00000853

oai:hal.in2p3.fr:in2p3-00000853

Contributeur : Jocelyne Lorgeril <>

Soumis le : Vendredi 12 Mars 1999, 11:30:47

Dernière modification le : Vendredi 12 Mars 1999, 11:30:47