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Publications du CSNSM |  |
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Publications du CSNSM | |
| HAL : in2p3-00001968, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| Journal of Vacuum Science and Technology A 9 (1991) 2285-2288 |
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| Infrared absorption and X-ray photoelectron spectroscopy studies of the anodic oxidation of plasma silicon nitride |
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| I. MonteroL. GalanJ.C. Pivin1O. SanchezJ.M. Albella |
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| (1991) |
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| 1 : | CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse |
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| in2p3-00001968, version 1 | |
| http://hal.in2p3.fr/in2p3-00001968 | |
| oai:hal.in2p3.fr:in2p3-00001968 | |
| Contributeur : Jocelyne Lorgeril | |
| Soumis le : Vendredi 7 Mai 1999, 11:09:20 | |
| Dernière modification le : Vendredi 7 Mai 1999, 11:09:20 | |
