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Journal of Vacuum Science and Technology A 9 (1991) 2285-2288
Infrared absorption and X-ray photoelectron spectroscopy studies of the anodic oxidation of plasma silicon nitride
I. Montero, L. Galan, J.C. Pivin1, O. Sanchez, J.M. Albella
(1991)
1 :  CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse