Correlation between gradients of composition and dielectric properties in oxynitride or diamond-like films on Si by means of spectroscopic ellipsometry and ion-beam analysis

J.C. Pivin; J.L. Stehle; J.P. Piel; M. Allouard

HAL : in2p3-00001969, version 1

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Philosophical Magazine B 64 (1991) 1-20

Correlation between gradients of composition and dielectric properties in oxynitride or diamond-like films on Si by means of spectroscopic ellipsometry and ion-beam analysis

J.C. Pivin¹, J.L. Stehle, J.P. Piel, M. Allouard¹

(1991)

1 :	CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse


in2p3-00001969, version 1
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Soumis le : Vendredi 7 Mai 1999, 11:13:22
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