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Philosophical Magazine B 64 (1991) 1-20
Correlation between gradients of composition and dielectric properties in oxynitride or diamond-like films on Si by means of spectroscopic ellipsometry and ion-beam analysis
J.C. Pivin1, J.L. Stehle, J.P. Piel, M. Allouard1
(1991)
1 :  CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse