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Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Research 171 (1980) 245-250
A high current ion implanter with hybrid scanning
J. Camplan1, J. Chaumont1, R. Meunier1, R. Graber, J.C. Rouge, R. Stocker, L. Wegmann
(1980)
1 :  CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse
Physique/Physique/Instrumentations et Détecteurs