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Le Vide 152 (1971) 105-
Description et performances d'un implanteur d'ions
J. Chaumont1, M. Baran-Marszac, J. Camplan1, R. Meunier1, J.L. Sarrouy
(1971)
1 :  CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse
Physique/Physique/Instrumentations et Détecteurs