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Experimental Astronomy 32 (2011) 179-191
Antenna-coupled arrays of NbSi micro-bolometers
A. Bideaud1, B. Belier2, Alain Benoit1, L. Bergé3, P. Camus1, S. Collin3, L. Dumoulin3, C. Hoffmann1, S. Marnieros3, Alessandro Monfardini1

Microbolometers are at present the most sensitive detectors for mm and sub-mm Astronomy. They are in use in most of the present instruments in that bandwidth. We have developed filled arrays of NbSi-based planar antenna coupled microbolometers. The fabrication details are given, together with characterization of the NbSi thermometers and optical results. The optical performances are potentially good for ground-based mm-wave astronomy applications, while the overall detectors performances are limited by low-frequency excess noise in the thermometric NbSi high-impedance sensors (Anderson insulator).
1 :  NEEL - Institut Néel
2 :  IEF - Institut d'électronique fondamentale
3 :  CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse
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Bolometers – Antenna – Arrays – mm-wave astronomy