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Experimental Astronomy 32 (2011) 179-191
Antenna-coupled arrays of NbSi micro-bolometers
A. Bideaud1, B. Belier2, Alain Benoit1, L. Bergé3, P. Camus1, S. Collin3, L. Dumoulin3, C. Hoffmann1, S. Marnieros3, Alessandro Monfardini1
(11/2011)

Microbolometers are at present the most sensitive detectors for mm and sub-mm Astronomy. They are in use in most of the present instruments in that bandwidth. We have developed filled arrays of NbSi-based planar antenna coupled microbolometers. The fabrication details are given, together with characterization of the NbSi thermometers and optical results. The optical performances are potentially good for ground-based mm-wave astronomy applications, while the overall detectors performances are limited by low-frequency excess noise in the thermometric NbSi high-impedance sensors (Anderson insulator).
1 :  NEEL - Institut Néel
2 :  IEF - Institut d'électronique fondamentale
3 :  CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse
CSNSM INSTR
CSNSM PS1
HELFA
Physique/Physique/Instrumentations et Détecteurs

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Bolometers – Antenna – Arrays – mm-wave astronomy