HAL : hal-00603027, version 1

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Caractérisation large bande et in-situ de couches minces de ZrO2 et HfO2 intégrées dans des capacités MIM, Grenoble : France (2009)

Caractérisation large bande et in-situ de couches minces de ZrO2 et HfO2 intégrées dans des capacités MIM

T. Bertaud1, C. Bermond, T. Lacrevaz, C. Vallée2, Y. Morand3, B. Fléchet, A. Farcy4, M. Gros-Jean5, S. Blonkowski3

(27/05/2009)

1 :	LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 :	CPPM - Centre de Physique des Particules de Marseille
3 :	ST-CROLLES - STMicroelectronics (Crolles)
4 :	LEA - Laboratoire d'Etudes Aérodynamiques
5 :	SIMAP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés

Domaine

:

Sciences de l'ingénieur/Optique / photonique

hal-00603027, version 1

http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00603027

oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00603027

Contributeur : Chahla Domenget <>

Soumis le : Vendredi 24 Juin 2011, 09:31:49

Dernière modification le : Vendredi 24 Juin 2011, 09:31:49