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Trends and New Applications in Thin Films, Regensburg : Allemagne
Oxynytride layers obtained by anodic oxidation of plama-enhanced chemically vapour deposited Si$_3$N$_4$ films
I. Montero, O. Sanchez, J.M. Albella, J.C. Pivin1
(1989)
1 :  CSNSM - Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse