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| HAL : in2p3-00012931, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 113 (1996) 284-287 |
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| Alpha backscattering used in stoichiometry determination of thin sic coatings on si(100) wafers |
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| R. Somatri1J.F. ChailanA. Chevarier1N. Chevarier1G. FerroY. MonteilH. VincentJ. Bouix |
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| (1996) |
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| 1 : | IPNL - Institut de Physique Nucléaire de Lyon |
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| Thème(s) | : | Physique/Physique Nucléaire Expérimentale |
| in2p3-00012931, version 1 | |
| http://hal.in2p3.fr/in2p3-00012931 | |
| oai:hal.in2p3.fr:in2p3-00012931 | |
| Contributeur : Sylvie Florès | |
| Soumis le : Vendredi 5 Février 1999, 12:30:28 | |
| Dernière modification le : Vendredi 5 Février 1999, 12:30:28 | |
