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Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 113 (1996) 284-287
Alpha backscattering used in stoichiometry determination of thin sic coatings on si(100) wafers
R. Somatri1, J.F. Chailan, A. Chevarier1, N. Chevarier1, G. Ferro, Y. Monteil, H. Vincent, J. Bouix
(1996)
1 :  IPNL - Institut de Physique Nucléaire de Lyon
Physique/Physique Nucléaire Expérimentale