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Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 113 (1996) 284-287
Alpha backscattering used in stoichiometry determination of thin sic coatings on si(100) wafers
R. Somatri1, J.F. Chailan, A. Chevarier1, N. Chevarier1, G. Ferro, Y. Monteil, H. Vincent, J. Bouix
1 :  IPNL - Institut de Physique Nucléaire de Lyon
Physique/Physique Nucléaire Expérimentale