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Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 95 (1995) 34-40
Sio$_2$-ta$_2o_5$ sputtering yields : simulated and experimental results
E. Vireton1, P. Ganau1, J.-M. Mackowski1, C. Michel1, L. Pinard1, A. Remillieux1, P. Laprat1
(1995)
1 :  IPNL - Institut de Physique Nucléaire de Lyon
Physique/Astrophysique/Cosmologie et astrophysique extra-galactique