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Radiation Effects 7 (1971) 7-15
Low energy boron implantation profiles in silicon from junction depth measurements
P. Sebillotte, M. Badanoiu, V.B. Ndocko-Ndongue1, P. Siffert
(1971)
1 :  IReS - Institut de Recherches Subatomiques
Physique/Physique Nucléaire Expérimentale