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HAL : in2p3-00019134, version 1

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Etude de l'implantation ionique a haute energie de bore et d'oxygene dans le silicium
Thevenin P.
Thèses. Université Louis Pasteur - Strasbourg I (1991)
[oai:hal.in2p3.fr:in2p3-00019134] - http://hal.in2p3.fr/in2p3-00019134
Etude de l'implantation ionique a haute energie de bore et d'oxygene dans le silicium
P. Thevenin1
1 :  IReS - Institut de Recherches Subatomiques
http://ireswww.in2p3.fr/
CNRS : UMR7500 – IN2P3 – Université Louis Pasteur - Strasbourg I – Cancéropôle du Grand Est
23 rue du Loess - BP 28 - 67037 Strasbourg Cedex 2
France

1991
Université Louis Pasteur - Strasbourg I