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International Conference On Ion Implantation Equipment And Techniques 5, Jeffersonville : United States
Multiple-beam ion implantation setup for large scale treatment of semiconductors
J.C. Muller1, E. Courcelle1, D. Salles1, P. Siffert1
(1985)
1 :  IReS - Institut de Recherches Subatomiques
Physique/Physique/Instrumentations et Détecteurs