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Ion Beam Modification Of Materials Conference,Ibmm '84, Ithaca : États-Unis
Some problems arising in hydrogen passivation of silicon by ion bombardment techniques
J.C. Muller1, Y. Ababou1, A. Barhdadi1, A. Mesli1, M. Toulemonde1, P. Siffert1
(1985)
1 :  IReS - Institut de Recherches Subatomiques
Physique/Physique/Instrumentations et Détecteurs