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Materials Science and Engineering B10 (1991) L11-L14
The use of rapid thermal annealing for studying contamination in silicon
B. Hartiti, A. Slaoui1, J.C. Muller1, P. Siffert1
(1991)
1 :  IReS - Institut de Recherches Subatomiques
Physique/Physique/Instrumentations et Détecteurs