s'authentifier
version française rss feed
HAL : in2p3-00019452, version 1

Fiche détaillée  Récupérer au format
Journal of Materials Research 4 (1989) 1227-1232
A study of 2 MeV oxygen implantation to form deeply buried SiO$_2$ layers
J.J. Grob1, A. Grob1, P. Thevenin1, P. Siffert1, C. D'Anterroches, A. Golanski
(1989)
1 :  IReS - Institut de Recherches Subatomiques