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Journal of Applied Physics 53 (1982) 3261-3266
Pulsed laser annealing of RF sputtered amorphous Si-H films doped with arsenic
E. Fogarassy1, R. Stuck1, M. Toulemonde1, J.C. Bruyere1, P. Siffert1
(1982)
1 :  IReS - Institut de Recherches Subatomiques
Physique/Physique/Instrumentations et Détecteurs