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IEEE Transactions on Plasma Science 33 (2005) 1944-1959
Plasma-blased ion implantation and deposition: A review of physics, technology, and applications
J. Pelletier1, A. Anders
(2005)
1 :  LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie
LPSC-plasmas
Physique/Physique/Physique des plasmas

Sciences de l'ingénieur/Plasmas