 |
 |
 |
|
|
|
| HAL : in2p3-00394474, version 1 |
| DOI : 10.1109/TPS.2005.860079 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
|
|
| IEEE Transactions on Plasma Science 33 (2005) 1944-1959 |
|
|
|
|
| Plasma-blased ion implantation and deposition: A review of physics, technology, and applications |
|
|
| J. Pelletier1A. Anders |
|
|
| (2005) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 1 : | LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Thème(s) | : | Physique/Physique/Physique des plasmas Sciences de l'ingénieur/Plasmas |
| in2p3-00394474, version 1 | |
| http://hal.in2p3.fr/in2p3-00394474 | |
| oai:hal.in2p3.fr:in2p3-00394474 | |
| Contributeur : Emmanuelle Vernay | |
| Soumis le : Jeudi 11 Juin 2009, 18:14:34 | |
| Dernière modification le : Jeudi 11 Juin 2009, 20:09:00 | |
