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| HAL : in2p3-00399341, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| 17th International Colloquium on PLASMA PROCESSES (CIP09), Marseille : France (2009) |
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| Advances and drawbacks of microwave plasmas for surface processing |
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| A. Lacoste1J. Pelletier1M. MoisanC. HéauB. Schmidt |
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| (26/06/2009) |
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| 1 : | LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie |
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| Thème(s) | : | Physique/Physique/Physique des plasmas Sciences de l'ingénieur/Plasmas |
| in2p3-00399341, version 1 | |
| http://hal.in2p3.fr/in2p3-00399341 | |
| oai:hal.in2p3.fr:in2p3-00399341 | |
| Contributeur : Emmanuelle Vernay | |
| Soumis le : Vendredi 26 Juin 2009, 10:59:36 | |
| Dernière modification le : Vendredi 26 Juin 2009, 20:17:46 | |
