s'authentifier
version française rss feed
HAL : in2p3-00399341, version 1

Fiche détaillée  Récupérer au format
17th International Colloquium on PLASMA PROCESSES (CIP09), Marseille : France (2009)
Advances and drawbacks of microwave plasmas for surface processing
A. Lacoste1, J. Pelletier1, M. Moisan, C. Héau, B. Schmidt
(26/06/2009)
1 :  LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie
LPSC-plasmas
Physique/Physique/Physique des plasmas

Sciences de l'ingénieur/Plasmas