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| HAL : in2p3-00414168, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| 10th International Workshop on Plasma-Based Ion Implantation & Deposition (PBII&D 2009), São José dos Campos : Brazil (2009) |
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| Distributed microwave plasmas with extended operating conditions: new opportunities for plasma-based ion implantation and deposition |
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| J. Pelletier1A. Lacoste1G. Regnard1 |
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| (2009) |
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| 1 : | LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie |
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| Thème(s) | : | Physique/Physique/Physique des plasmas Sciences de l'ingénieur/Plasmas |
| in2p3-00414168, version 1 | |
| http://hal.in2p3.fr/in2p3-00414168 | |
| oai:hal.in2p3.fr:in2p3-00414168 | |
| Contributeur : Emmanuelle Vernay | |
| Soumis le : Mardi 8 Septembre 2009, 13:59:33 | |
| Dernière modification le : Lundi 28 Mars 2011, 15:15:15 | |
