s'authentifier
version française rss feed
HAL : in2p3-00414168, version 1

Fiche détaillée  Récupérer au format
10th International Workshop on Plasma-Based Ion Implantation & Deposition (PBII&D 2009), São José dos Campos : Brésil (2009)
Distributed microwave plasmas with extended operating conditions: new opportunities for plasma-based ion implantation and deposition
J. Pelletier1, A. Lacoste1, G. Regnard1
(2009)
1 :  LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie
LPSC-plasmas
Physique/Physique/Physique des plasmas

Sciences de l'ingénieur/Plasmas