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Journal of Alloys and Compounds 509 (2011) 9906-9911
Thin films of thermoelectric compound Mg2Sn deposited by co-sputtering assisted by multi-dipolar microwave plasma
Huy Le-Quoc1, 2, A. Lacoste1, El-Kebir Hlil2, A. Bès1, T. Tan Vinh1, Daniel Fruchart2, N. Skryabina
(2011)
1 :  LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie
2 :  NEEL - Institut Néel
IICE
Sciences de l'ingénieur/Plasmas