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| HAL : in2p3-00697281, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| 39th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF), San Diego : États-Unis (2012) |
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| The multi beam sputtering: a new thin film deposition approach |
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| P. Sortais1J. Médard1 |
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| (26/04/2012) |
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| 1 : | LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie |
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| Thème(s) | : | Physique/Physique/Physique des accélérateurs |
| in2p3-00697281, version 1 | |
| http://hal.in2p3.fr/in2p3-00697281 | |
| oai:hal.in2p3.fr:in2p3-00697281 | |
| Contributeur : Emmanuelle Vernay | |
| Soumis le : Mardi 15 Mai 2012, 09:49:38 | |
| Dernière modification le : Mardi 15 Mai 2012, 12:07:38 | |
