HAL : jpa-00243394, version 1

DOI : 10.1051/rphysap:0197000502031700

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Revue de Physique Appliquee 5, 2 (1970) 317-320

Application de la méthode de rétrodiffusion des électrons à la mesure en continu des faibles épaisseurs de revêtements légers sur métaux ou alliages légers

G.R. Roche1, J.F. Deveau, P.J. Cunat, P. Levy, J. Boin, C. Riss

(1970)

Le problème envisagé concerne la mesure en continu des faibles épaisseurs de revêtements organiques sur métaux ou alliages légers. Nous étudions les caractéristiques d'une jauge à rétrodiffusion β opérant sous atmosphère d'hélium. Nous montrons que le fait de travailler sous hélium améliore les résultats de façon très importante. L'influence de l'énergie de la source radio-active et du numéro atomique du revêtement sont examinés. Les résultats obtenus concernent également la précision, le temps de mesure ainsi que la surface de l'échantillon sous investigation.

1 :	LPC-CLERMONT - Laboratoire de Physique Corpusculaire de Clermont-Ferrand

Domaine

:

Physique/Articles anciens Physique/Physique/Instrumentations et Détecteurs

Mots Clés : thickness measurement

jpa-00243394, version 1

http://hal.archives-ouvertes.fr/jpa-00243394

oai:hal.archives-ouvertes.fr:jpa-00243394

Contributeur : Archives Journal de Physique <>

Soumis le : Jeudi 1 Janvier 1970, 08:00:00

Dernière modification le : Mercredi 12 Mars 2008, 14:07:10