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Université Claude Bernard - Lyon I (07/09/2000), Farizon B. (Dir.)
Production d'agrégats mixtes par pulvérisation de cibles de silicium et de silice placées dans différents environnements gazeux
Christelle Guillermier1
(07/09/2000)

Le bombardement par des faisceaux d'atomes ou de molécules neutres (Ar, N$_2$ et N$_2$O) de cibles solides (silicium et silice) placées dans différents environnements gazeux (h$_2$, O$_2$, H$_2$O, N$_2$O, N$_2$) conduit à l'éjection d'atomes et d'agrégats pouvant être constitués d'atomes de la cible, du projectile incident et/ou de l'environnement gazeux. L'étude de diverses familles d'agrégats nous a permis de mettre en évidence l'influence, sur la production des différentes espèces pulvérisées, de la nature chimique des éléments mis en jeu et de la manière dont ceux ci sont apportés. La distribution en taille des agrégats Si$_n^+$ et (SiO$_2)_n^+$, (1$
1 :  IPNL - Institut de Physique Nucléaire de Lyon
Physique/Physique
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