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| HAL : tel-00123911, version 1 |
| Fiche détaillée |  Récupérer au format |
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| Université Joseph-Fourier - Grenoble I (29/11/2006), Ana Lacoste (Dir.) |
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| Versions disponibles : | v1 (11-01-2007) | v2 (19-01-2007) | v3 (23-01-2007) | v4 (02-02-2007) | v5 (02-02-2007) | v6 (16-02-2007) |
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| Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle |
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| Louis Latrasse1, 2 |
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| Projet Européen MATECO Collaboration(s) |
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| (29/11/2006) |
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| L'objectif de cette étude est de produire des nappes de plasma uniformes et de fortes densités dans la gamme de pression de 100 Pa. Le réacteur est constitué de 4 × 3 sources plasma micro-onde distribuées selon une configuration matricielle carrée. Dans l'argon, le plasma peut être maintenu entre 7,5 et 750 Pa. La nappe de plasma obtenue devient uniforme à partir de 15-20 mm du plan de source. Les densités obtenues sont comprises entre 10^12 et 10^13 cm^-3 avec une uniformité de ± 3,5 % à 20 mm du plan de source. La décroissance de la température électronique observée lors d'une augmentation de la puissance micro-onde est justifiée par l'apparition d'un mécanisme d'ionisation par étapes via les atomes métastables. Une modélisation analytique puis numérique du plasma d'argon à une dimension a été effectuée. Finalement, des couches de SiOCH et de SiNCH ont été déposées par PACVD, les vitesses de dépôt obtenues dépassent le µm/min et les dépôts sont uniformes. |
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| 1 : | LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie |
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| 2 : | EPM - Elaboration par procédés magnétiques |
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| domaine | : | Physique/Physique |
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| plasma micro-onde – sonde de Langmuir – spectroscopie d'absorption par diodes laser – modélisation du plasma – dépôt par PACVD – gravure |
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| Liste des fichiers attachés à ce document : | |||||
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| tel-00123911, version 1 | |
| http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00123911 | |
| oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00123911 | |
| Contributeur : Louis Latrasse | |
| Soumis le : Jeudi 11 Janvier 2007, 14:24:47 | |
| Dernière modification le : Jeudi 11 Janvier 2007, 14:27:29 | |
