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Université Joseph-Fourier - Grenoble I (29/11/2006), Ana Lacoste (Dir.)
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Conception, caractérisation et applications des plasmas micro-onde en configuration matricielle
Louis Latrasse1, 2
Projet Européen MATECO Collaboration(s)
(29/11/2006)

L'objectif de cette étude est de produire des nappes de plasma uniformes et de fortes densités dans la gamme de pression de 100 Pa. Le réacteur est constitué de 4 × 3 sources plasma micro-onde distribuées selon une configuration matricielle carrée. Dans l'argon, le plasma peut être maintenu entre 7,5 et 750 Pa. La nappe de plasma obtenue devient uniforme à partir de 15-20 mm du plan de source. Les densités obtenues sont comprises entre 10^12 et 10^13 cm^-3 avec une uniformité de ± 3,5 % à 20 mm du plan de source. La décroissance de la température électronique observée lors d'une augmentation de la puissance micro-onde est justifiée par l'apparition d'un mécanisme d'ionisation par étapes via les atomes métastables. Une modélisation analytique puis numérique du plasma d'argon à une dimension a été effectuée. Finalement, des couches de SiOCH et de SiNCH ont été déposées par PACVD, les vitesses de dépôt obtenues dépassent le µm/min et les dépôts sont uniformes.
1 :  LPSC - Laboratoire de Physique Subatomique et de Cosmologie
2 :  EPM - Elaboration par procédés magnétiques
Physique/Physique
plasma micro-onde – sonde de Langmuir – spectroscopie d'absorption par diodes laser – modélisation du plasma – dépôt par PACVD – gravure
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