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fulltext access Etude et réalisation d'empilements multicouches sur des optiques asphériques de grandes dimensions pour des applications en lithographie Extrême U.V
Sassolas B.
Université Claude Bernard - Lyon I (01/07/2008), Jean-Marie MACKOWSKI (Dir.) [tel-00371657 - version 2]
fulltext access Etude et réalisation d'empilements multicouches sur des optiques asphériques de grandes dimensions pour des applications en lithographie Extrême U.V
Sassolas B.
Université Claude Bernard - Lyon I (01/07/2008), Jean-Marie MACKOWSKI (Dir.) [tel-00371657 - version 1]
EUV near normal incidence collector development at SAGEM
Mercier-Ythier R., Bozec X., Geyl R., Rinchet A., Hecquet C. et al
Dans Proc. SPIE 6921, Emerging Lithographic Technologies XII - Emerging lithographic technologies XII, États-Unis (2008) [hal-00814125 - version 1]