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HAL : ujm-00681960, version 1

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Submicrometric gratings fabrication from photosensitive organo-silica-hafnia thin films elaborated by sol-gel processing
Franc J., Barnier V., Vocanson F., Gamet E., Lesage M. et al
Thin Solid Films 520, 19 (2012) 6050 - http://hal-ujm.ccsd.cnrs.fr/ujm-00681960
Chimie/Matériaux
Sciences de l'ingénieur/Matériaux
Submicrometric gratings fabrication from photosensitive organo-silica-hafnia thin films elaborated by sol-gel processing
Janyce Franc1, 2, Vincent Barnier ()3, 4, Francis Vocanson ()2, Émilie Gamet ()2, Marilyne Lesage2, Damien Jamon5, Yves Jourlin ()2
1 :  LMA - Laboratoire des matériaux avancés
CNRS : USR3264 – IN2P3 – Université Claude Bernard - Lyon I (UCBL)
Bâtiment 213 VIRGO 22 7 avenue Pierre de Coubertin 69622 VILLEURBANNE CEDEX
France
2 :  LHC - LAboratoire Hubert Curien [Saint Etienne]
http://laboratoirehubertcurien.fr
CNRS : UMR5516 – Université Jean Monnet - Saint-Etienne
18 rue du Professeur Lauras 42000 SAINT-ETIENNE
France
3 :  MPI-ENSMSE - Département Mécanique physique et interfaces
http://www.emse.fr/spip/-MPI-.html
École Nationale Supérieure des Mines - Saint-Étienne – SMS
158, cours Fauriel F-42023 Saint-Étienne cedex 2
France
4 :  LCG-ENSMSE - UMR 5146 - Laboratoire Claude Goux
http://www.emse.fr/spip/-Laboratoire-Claude-Goux-.html
École Nationale Supérieure des Mines - Saint-Étienne
158, cours Fauriel F-42023 Saint-Étienne cedex 2
France
5 :  LT2C - Laboratoire Telecom Claude Chappe
http://lt2c.telecom-st-etienne.fr/FRA/index.html
Ecole d'ingenieurs Telecom Saint Etienne – Université Jean Monnet - Saint-Etienne : EA3523
LT2C Télécom Saint-Etienne 25 rue Dr Rémy Annino 42000 Saint-Etienne Cedex 2
France
The aim of this study is the elaboration of a high index sol-gel material in order to prepare submicrometric grating. The gratings were obtained after few seconds of UV exposure in one step using an organically modified silica-hafnia matrix. The chemical composition of thin films after UV and annealing treatments were studied using Fourier Transform Infrared Spectroscopy and X-Ray Photoelectron Spectroscopy. The study of optical properties revealed that the annealed films are transparent from 200 to 1000 nm and have a refractive index from 1.550 to 1.701 depending on the hafnium concentration.
Anglais
22/07/2011

Thin Solid Films
Publisher Elsevier
ISSN 0040-6090 (eISSN : 0040-6090)
internationale
Articles dans des revues avec comité de lecture
30/03/2012
520
19
6050

Photosensitivity – Thin Films – Sol-gel Deposition – Silica – Hafnia – X-ray photoelectron Spectroscopy – Diffraction gratings