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Revue de Physique Appliquee 5, 2 (1970) 317-320
Application de la méthode de rétrodiffusion des électrons à la mesure en continu des faibles épaisseurs de revêtements légers sur métaux ou alliages légers
G.R. Roche1, J.F. Deveau, P.J. Cunat, P. Levy, J. Boin, C. Riss
(1970)

Le problème envisagé concerne la mesure en continu des faibles épaisseurs de revêtements organiques sur métaux ou alliages légers. Nous étudions les caractéristiques d'une jauge à rétrodiffusion β opérant sous atmosphère d'hélium. Nous montrons que le fait de travailler sous hélium améliore les résultats de façon très importante. L'influence de l'énergie de la source radio-active et du numéro atomique du revêtement sont examinés. Les résultats obtenus concernent également la précision, le temps de mesure ainsi que la surface de l'échantillon sous investigation.
1 :  LPC - Laboratoire de Physique Corpusculaire [Clermont-Ferrand]
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thickness measurement
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