Uv photo-assisted formation of silicon dioxide - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules Accéder directement au contenu
Chapitre D'ouvrage Année : 1992

Uv photo-assisted formation of silicon dioxide

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00016037 , version 1 (06-06-2000)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00016037 , version 1

Citer

E. Fogarassy. Uv photo-assisted formation of silicon dioxide. Photochemical processing formation of electronic materials, Academic Press, pp.233-255, 1992. ⟨in2p3-00016037⟩
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