Dynamics of lattice damage accumulation for MeV ions in silicon - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Année : 1992

Dynamics of lattice damage accumulation for MeV ions in silicon

A. Golanski
  • Fonction : Auteur
O.W. Holland
  • Fonction : Auteur
S.J. Pennycook
  • Fonction : Auteur
C.W. White
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00015898 , version 1 (30-05-2000)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00015898 , version 1

Citer

A. Golanski, A. Grob, J.J. Grob, O.W. Holland, S.J. Pennycook, et al.. Dynamics of lattice damage accumulation for MeV ions in silicon. Spring Meeting of the European Materials Research Society (E-Mrs) Symposium C on High Energy Ion Implantation, May 1991, Strasbourg, France. pp.365-371. ⟨in2p3-00015898⟩
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