Coupling modes in a dipolar microwave plasma source (2.45GHz)

Type de document :
Communication dans un congrès
9th International Conference on Reactive Plasmas, 68th Gaseous Electronics Conference, 33rd Symposium on Plasma Processing (ICRP-9, GEC-68, SPP-33), Oct 2015, Honolulu, United States
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http://hal.in2p3.fr/in2p3-01217122
Contributeur : Emmanuelle Vernay <>
Soumis le : lundi 19 octobre 2015 - 10:08:03
Dernière modification le : mardi 22 mai 2018 - 21:48:10

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-01217122, version 1

Collections

IN2P3 | LPSC | UGA

Citation

P. Baele, R. Maurau, S. Béchu, A. Bès, A. Lacoste. Coupling modes in a dipolar microwave plasma source (2.45GHz). 9th International Conference on Reactive Plasmas, 68th Gaseous Electronics Conference, 33rd Symposium on Plasma Processing (ICRP-9, GEC-68, SPP-33), Oct 2015, Honolulu, United States. 〈in2p3-01217122〉

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