Coupling modes in a dipolar microwave plasma source (2.45GHz) - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Coupling modes in a dipolar microwave plasma source (2.45GHz)

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Emmanuelle Vernay  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.in2p3.fr/in2p3-01217122

Soumis le : lundi 19 octobre 2015-10:08:03

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:18:11

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-01217122 , version 1 (19-10-2015)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-01217122 , version 1

Citer

P. Baele, R. Maurau, Stéphane Béchu, A. Bès, A. Lacoste. Coupling modes in a dipolar microwave plasma source (2.45GHz). 9th International Conference on Reactive Plasmas, 68th Gaseous Electronics Conference, 33rd Symposium on Plasma Processing (ICRP-9, GEC-68, SPP-33), Oct 2015, Honolulu, United States. ⟨in2p3-01217122⟩

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