Article Dans Une Revue
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Année : 1996
Sylvie Flores : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.in2p3.fr/in2p3-00012931
Soumis le : vendredi 5 février 1999-12:30:28
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:18:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : in2p3-00012931 , version 1
Citer
R. Somatri, Jean-François Chailan, A. Chevarier, N. Chevarier, G. Ferro, et al.. Alpha backscattering used in stoichiometry determination of thin sic coatings on si(100) wafers. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 1996, 113, pp.284-287. ⟨in2p3-00012931⟩
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