Plamas micro-onde basse pression et procédé associés - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Plamas micro-onde basse pression et procédé associés

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-01128593 , version 1 (10-03-2015)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-01128593 , version 1

Citer

Stéphane Béchu, A. Bès, A. Lacoste. Plamas micro-onde basse pression et procédé associés. 12èmes Journées d’Echange du Réseau Plasmas Froids, Oct 2014, La Rochelle, France. ⟨in2p3-01128593⟩
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