Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Emmanuelle Vernay : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.in2p3.fr/in2p3-01245399
Soumis le : jeudi 17 décembre 2015-10:35:31
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:18:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : in2p3-01245399 , version 1
Citer
T. Le Coz, M. Mantel, C. Vachey, A. Todoran, A. Bès, et al.. Origin of the heat load on a substrate coated in inverted cylindrical magnetron (ICM). 4th Magneton, Ion Processing & Arc Technologies European Conference, 14th Internation Symposium on Reactive Sputter Deposition (MIATEC 2015), Dec 2015, Paris, France. ⟨in2p3-01245399⟩
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