Modelling and characterisation of elementary microwave plasma sources at medium pressure (1 to 50 Torr) for high rate deposition - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2017

Modelling and characterisation of elementary microwave plasma sources at medium pressure (1 to 50 Torr) for high rate deposition

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Emmanuelle Vernay  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.in2p3.fr/in2p3-01541647

Soumis le : lundi 19 juin 2017-13:02:06

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:18:12

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-01541647 , version 1 (19-06-2017)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-01541647 , version 1

Citer

A. Martin Ortega, A. Bes, Stéphane Béchu, A. Lacoste. Modelling and characterisation of elementary microwave plasma sources at medium pressure (1 to 50 Torr) for high rate deposition. International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. . ⟨in2p3-01541647⟩

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