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Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Elementary microwave plasma sources with extended operating parameters (from low to high- pressures) for large area deposition

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Emmanuelle Vernay  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.in2p3.fr/in2p3-01541651

Soumis le : lundi 19 juin 2017-13:06:33

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:18:12

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-01541651 , version 1 (19-06-2017)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-01541651 , version 1

Citer

A. Lacoste, P. Baele, A. Martin Ortega, A. Bes, Stéphane Béchu. Elementary microwave plasma sources with extended operating parameters (from low to high- pressures) for large area deposition. International Conference “The Physics of Low Temperature Plasma” (PLTP-2017), Jun 2017, Kazan, Russia. ⟨in2p3-01541651⟩

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