Role of RF power and gas mixture in some optical and photoluminescence properties of dual-plasma a-C:H films - IN2P3 - Institut national de physique nucléaire et de physique des particules Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1998

Role of RF power and gas mixture in some optical and photoluminescence properties of dual-plasma a-C:H films

T. Heitz
  • Fonction : Auteur
C. Godet
CV
J.E. Bouree
CV
B. Drevillon
  • Fonction : Auteur
V. Chu
  • Fonction : Auteur
J.P. Conde
  • Fonction : Auteur
C. Clerc
  • Fonction : Auteur
Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse

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https://hal.in2p3.fr/in2p3-00003198

Soumis le : mardi 23 novembre 1999-15:44:46

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:18:11

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00003198 , version 1 (23-11-1999)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00003198 , version 1

Citer

T. Heitz, C. Godet, J.E. Bouree, B. Drevillon, V. Chu, et al.. Role of RF power and gas mixture in some optical and photoluminescence properties of dual-plasma a-C:H films. Flat-Panel Display Materials - 1998 Symposium of the Materials Research Society, Apr 1998, San Francisco, United States. pp.203-208. ⟨in2p3-00003198⟩

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